凈室是眾多制造工藝不可或缺的重要部分。 凈室的作用是提供一個(gè)不含空氣污染物(包括常見(jiàn)的粉塵、氣溶膠、顆粒物和其它在我們周?chē)鸁o(wú)處不在的污染物)的環(huán)境。 盡管我們?cè)谌粘I钪胁](méi)有意識(shí)到這些污染物,但我們大多數(shù)人都曾想要知道,在黑暗的房間中有陽(yáng)光透過(guò)窗戶(hù)射進(jìn)來(lái)時(shí)或明亮的聚光燈照射時(shí),在光柱里所看到的那些東西到底有多少。
空氣中的這些污染物會(huì)對(duì)光學(xué)、半導(dǎo)體和其它產(chǎn)品的關(guān)鍵制造過(guò)程造成嚴(yán)重的不利影響,必須通過(guò)將這些污染物排除在制造區(qū)域之外的方式來(lái)消除這種影響。 另一方面,凈室也被用于控制和防止那些化學(xué)品和藥物等制造過(guò)程中生物危害物和毒素等物質(zhì)的釋放,以及諸如傳染病病毒釋放等情況。 這種情況下的目標(biāo)是控制這些可能在空氣中漂浮的物質(zhì)而不是將其清除。
在上述任何情況中,凈室均是一個(gè)通過(guò)謹(jǐn)慎隔離來(lái)避免凈室內(nèi)的空氣和相關(guān)污染物與周?chē)h(huán)境中的空氣和污染物發(fā)生意外交換的區(qū)域。 必須將每種可能的交換路徑密封隔離,避免發(fā)生交換。 之后對(duì)密閉空間內(nèi)的空氣進(jìn)行過(guò)濾,并利用額外的已過(guò)濾空氣對(duì)其進(jìn)行稍微加壓來(lái)去除已存在的任何污染物,確認(rèn)不會(huì)有包含污染物的環(huán)境空氣意外流入。
目前為止,一切都看起來(lái)很簡(jiǎn)單,是吧? 好吧,其實(shí)不是。 為使凈室起到作用,物料和人員都需要在不帶入空氣中污染物或其它污染物的前提下進(jìn)出凈室。 這里最大的潛在危害者是人,因?yàn)槠胀ㄈ松砩掀骄刻煊写蠹s一百萬(wàn)多個(gè)顆粒物產(chǎn)生(根據(jù)您參考的信息源,給出或采用一個(gè)數(shù)量級(jí)),其中絕大部分是死皮細(xì)胞。 還有人的呼吸帶來(lái)的問(wèn)題,呼吸不可避免地會(huì)產(chǎn)生氣溶膠和顆粒物。 此外,所處理的工件帶進(jìn)來(lái)的污染物和凈室各個(gè)表面不可避免地產(chǎn)生的顆粒物,也會(huì)增加污染物量。 為避免污染物通過(guò)這些源頭進(jìn)入凈室,物料和人員應(yīng)通過(guò)氣閘和前室進(jìn)出。 氣閘是一個(gè)單獨(dú)隔離的艙室,其一側(cè)連接外界環(huán)境,另一側(cè)連接凈室內(nèi)的清潔環(huán)境。 在氣閘內(nèi),工件接受去除污染物的處理,然后才可進(jìn)入凈室,而人員則“整身穿戴”專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)不會(huì)脫落顆粒物且其內(nèi)部顆粒物不會(huì)逸出的隔離服。 凈室隔離服包括了從簡(jiǎn)單工作服到大家都知道的“兔裝”這種完全將穿著者隔離的服裝在內(nèi)的各種服裝,甚至還包括了與深海潛水員所使用呼吸器類(lèi)似的自給式呼吸器。
除上述各項(xiàng)之外,在凈室中還有一些特定的規(guī)則和規(guī)程要遵守,以盡最大可能維持空氣潔凈度。 這些規(guī)則和規(guī)程包括不允許進(jìn)食、吸煙、化妝、快速移動(dòng)等,以及必須實(shí)施嚴(yán)格的持續(xù)清潔方案,包括擦拭設(shè)備和使用配備過(guò)濾排氣口的專(zhuān)用真空吸塵器進(jìn)行吸塵清潔。 簡(jiǎn)而言之,凈室不僅僅是一個(gè)滿(mǎn)足特定要求的物理結(jié)構(gòu)——它是一種極端嚴(yán)格的紀(jì)律文化。